Out of the cleaning bath, a wafer comes with a skin of DI water. The drying oven has to strip that moisture off without cooking the photoresist or...

Ra ngoài dây chuyền, một mạch điện tử linh hoạt gặp sự cố ngay khi quá trình nướng photoresist trôi đi. Trên bề mặt wafer 300 mm, chỉ cần một vài...