Ngăn chặn sự vỡ nứt của ống đèn: Bảo vệ các wafer khỏi những hư hỏng do lỗi của bộ sưởi Trong môi trường sản xuất semiconductor với công suất cao,...

Out of the cleaning bath, a wafer comes with a skin of DI water. The drying oven has to strip that moisture off without cooking the photoresist or...