在工厂车间，PECVD腔体烘烤曲线的0.5°C漂移并不是一个附注。它表现为晶圆上的厚度不均匀、应力异常以及大量的废料。你需要的是跟随工艺的热量，而不是反过来。 背后的关键因素 我们在短波NIR的基础上构建了PECVD加热红外发射器，因为响应时间是以秒来计算，而不是以分钟。目标是在烘烤区域内实现晶圆...

电地暖系统相当于从地面给房间带来均匀的热量，不占用笨重散热器的空间。 在安装该系统时，我们关注的重点是：在合适的面积内提供足够功率，以及确保多年的稳定性。系统围绕坚固的加热元件构建，布局设计严格符合房间的具体需求。 功率、电压与布局——保持实际 电地暖的功率设计以达到理想的表面温度——温暖但不过热...