晶圆加热的安全距离

如何应对晶圆加热过程中的热量与挥发性问题 在用化学试剂对晶圆进行清洁时，你不仅要确保温度达到设定值，还要设法控制各种风险。说实话，很多清洁剂都是易燃的，甚至有些还具有爆炸性。如果将红外灯直接放置在那些蒸汽附近，就很容易引发火灾。因此，我们不再使用开放式红外灯，而是改用封闭式红外系统。这样更安全。...