في غرفة الليثوغرافيا، يتم تحديد عرض خطوط الطباعة في خطوة PEB. إذا قمت بتغيير درجة الحرارة بمقدار 0.5 درجة مئوية على سطح الرقاقة، فسوف يؤدي ذلك إلى نتائج غير مرغوب فيها، وقد يستغرق التخلص من هذه المشكلة أسابيع. لذلك، تم تصميم جهاز التسخين هذا للتخلص من هذه المشكلة.
ما هو مهم في النظام؟ الجزء الأساسي من النظام هو مجموعة من مصادر الإشعاع قصيرة الموجة المصنوعة من الكوارتز والهالوجين، بالإضافة إلى نظام تحكم دقيق. في رقاقة بحجم 300 مم، يظل التوزيع الحراري ضمن نطاق ±0.1 درجة مئوية. كما أن درجة التكرار بين الدفعات المختلفة تظل ضمن نطاق ±0.2 درجة مئوية، مما يضمن استقرار مستوى تفعيل المواد الفوتوحساسة. مواد الغرفة مخصصة للاستخدام في بيئات نظيفة من الدرجة 1 إلى 100، كما أن تصميم الجهاز يساعد في تقليل الاضطرابات الحرارية، وبالتالي يقلل من تكون الجسيمات أثناء عملية التسخين. يمكن الحصول على درجات حرارة مستقرة تتراوح بين 90 درجة مئوية و150 درجة مئوية، مع معدل زيادة الحرارة يصل إلى 10 درجات مئوية في الثانية، كما أن التصميم يساعد في تجنب تكون نقاط ساخنة على سطح الرقاقة.
المشكلة هي أن أي خطأ في درجة حرارة PEB يؤدي مباشرة إلى أخطاء في دقة الطباعة وفقدان الكفاءة. باستخدام هذا الجهاز، يمكن لعمليات التسخين أن تسير وفقًا للخطة المحددة، وليس وفقًا لقرارات الجهاز نفسه. والنتيجة هي تقليل عدد الرقاقات المهدرة، وتحسين توزيع المواد على الطبقات الحساسة، بالإضافة إلى تسريع عمليات التحقق من جودة الرقاقات.
كما يمكن توفير الطاقة، لأن مصدر الإشعاع قصير الموجة يسخن الرقاقة فقط، وليس البيئة المحيطة بها. كما أن الكتلة الحرارية المنخفضة تساعد في تقليل الوقت اللازم للانتقال من حالة الخمول إلى حالة التسخين. ويمكن للنظام أن يعمل على مدار 24 ساعة في اليوم، مع إمكانية التخطيط لأعمال الصيانة بشكل مناسب.
ما الذي تحتاجه لتشغيل الجهاز؟ يعمل الجهاز مع واجهات FOUP وSEMI القياسية، لكنه يحتاج إلى خط تحكم بجهد 24 فولت، بالإضافة إلى هواء نظيف وجاف لضمان فعالية عملية التنقية. أثناء التركيب، يجب تخصيص 30 دقيقة لعملية المواءمة وفحص التغيرات الحرارية. بعد ذلك، يجب إجراء فحص يومي للتأكد من استقرار درجة الحرارة باستخدام رقاقة معتمدة.
إذا كنت في بيئة ذات رطوبة عالية، يجب التأكد من معدل تدفق الهواء النظيف. وإلا، قد يؤدي التكثيف الرطب إلى تشتيت أشعة الأشعة تحت الحمراء، مما يؤدي إلى حدوث انحرافات صغيرة في النتائج.