পরিষ্কার বাথ থেকে
একটি ওয়েফার DI পানির একটি স্তর নিয়ে বের হয়। শুকানোর ওভেনটি সেই আর্দ্রতা অপসারণ করতে হবে, কোনও ফটোরেসিস্ট রান্না না করে বা কণার উল্টানো সৃষ্টি না করে। যদি টাইমার ড্রিফট করে, স্থায়ী সময় ভিন্ন হয়ে যায়—এবং এটি লাইনটিতে ফলন লিক হিসাবে প্রকাশ পায়। তাই আমরা একটি টাইমার তৈরি করেছি যা ওয়েফার শুকানোর ওভেনের জন্য প্রক্রিয়াটিকে সৎ রাখতে সাহায্য করে।
প্রযুক্তিগতভাবে এটি কি করতে হবে এই টাইমারটি অর্ধপরিবাহী তাপীয় যন্ত্রের জন্য ডিজাইন করা হয়েছে। টাইমিং সঠিকতা 0.1% পৌঁছায়, এবং পুনরাবৃত্তিযোগ্যতা ±10 ms। এটি সরাসরি ওভেন নিয়ন্ত্রণ লুপে প্লাগ ইন হয়, 24 VDC এবং PLC ইন্টারলক সহ, এবং এটি পরিষ্কার বাথের চারপাশের ভিজা, রসায়নসমৃদ্ধ বায়ুর জন্য IP54-রেটেড। ক্লিনরুম-সঙ্গত নির্মাণ, কম আউটগ্যাসিং উপকরণ, এবং একটি ডিসপ্লে যা অতিবাহিত সময় এবং চক্র সম্পন্ন দেখায়—কোনও অনুমান নেই। ইন্টারফেসটি ইচ্ছাকৃতভাবে পরিষ্কার থাকে: সেট, শুরু, নিশ্চিত করুন।
শুকানোর ধাপে এটি কেন গুরুত্বপূর্ণ ওয়েফার শুকানোর জন্য একটি সংকীর্ণ তাপীয় বাজেটের প্রয়োজন। যদি চক্রটি খুব সংক্ষিপ্ত হয়, আপনি পানি দাগ পাবেন। খুব দীর্ঘ হলে, আপনি ফটোরেসিস্ট পুনঃপ্রবাহের ঝুঁকিতে থাকেন, অথবা আপনি পরবর্তী স্তর/বেকের পরে এজ বীডের মাথাব্যাথার জন্য নিজেকে প্রস্তুত করেন। এই টাইমারটি অপারেটরের পরিবর্তনশীলতাকে অপসারণ করে এবং প্রতি ব্যাচে একই চক্রকে লক করে। আপনি ধারাবাহিক শুষ্কতা, কম পুনঃকর্ম এবং কণার সংখ্যা পাবেন যা শিফট থেকে শিফটে পরিবর্তিত হয় না। এটি কাগজপত্রও সঠিক রাখে, SPC জন্য চক্রের সময় লগ করে, লাইনটিতে কোনও গোলমাল না দিয়ে।
ইনস্টলেশনের জন্য আপনার যা জানতে হবে ইনস্টলেশনটি ওভেনের নিয়ন্ত্রণ ভোল্টেজ এবং ইন্টারলক লজিক মেলানোর উপর নির্ভর করে। আমরা টাইমারের জানালাটি ওভেনের র্যাম্প এবং সোকের সাথে মেলানোর জন্য সংযোগের ডায়াগ্রাম এবং কালিব্রেশন অফসেট প্রদান করি। রক্ষণাবেক্ষণের সময় একটি 15-মিনিটের ইন্টিগ্রেশন চেক নির্ধারণ করুন। টাইমারটি শক্তিশালী, তবে এটি তাপমাত্রা নিয়ন্ত্রণের বিকল্প নয়। একটি প্রমাণিত ওভেন তাপীয় সমতলতার পরিকল্পনার সাথে এটি যুক্ত করুন, এবং আপনি প্রস্তুত।