V prostoru určeném k litografii je krok PEB tím místem, kde určujete šířku čar. Pokud posunete teplotu o 0,5 °C po povrchu waferu, vznikne chyba v parametrech výsledného výrobku, se kterou budete muset bojovat celé týdny. My jsme sestrojili tento ohřívač Post Exposure Bake právě proto, abychom tu proměnnou odstranili.
Co je důležité uvnitř Jádrem systému je mřížka kvartových halogenových zdrojů krátkovlnného záření spojená s řízením v uzavřeném okruhu. Na waferu o rozměrech 300 mm zůstává termální homogenita v rozmezí ±0,1 °C. Opakovatelnost mezi jednotlivými partiemi waferů zůstává v rozmezí ±0,2 °C, takže profil aktivace fotorezistu nevykazuje žádné změny. Materiály použité v komoře odpovídají standardům pro čisté prostory třídy 1–100. Geometrie ohřívače minimalizuje turbulenci, takže během procesu zahřívání nevznikají žádné částice. Máte stabilní hodnoty teploty od 90 °C do 150 °C, rychlost zvyšování teploty až 10 °C/s. Rozmístění komponent pomáhá zabránit vzniku „horkých bodů“ na povrchu waferu.
Problém je v tom, že chyby v teplotě PEB se přímo převádějí na chyby v parametrech výsledného výrobku a na snížení výtěžnosti. S tímto ohřívačem fungují profily měkkého a tvrdého zahřívání přesně podle plánu, a ne podle rozhodnutí samotného zařízení. Výsledkem je méně odpadních waferů, lepší rozložení parametrů na kritických vrstvách a rychlejší proces kalibrace.
Také ušetříte energii – krátkovlnný zdroj zahřívá samotný cíl, nikoliv okolní prostředí. Nízká tepelná hmotnost zkracuje dobu přechodu mezi režimem odpočinku a režimem zahřívání. Doba provozu zůstává konstantní – tento systém je navržen pro nepřetržitý provoz 24/7 s možností plánování údržby.
Co potřebujete k jeho provozu Ohřívač funguje s běžnými rozhraními typu FOUP a SEMI, ale potřebuje speciální vedení napájení o napětí 24 V a čistý suchý vzduch pro efektivní čištění komory. Při instalaci vyhraďte 30 minut na zarovnání a kontrolu termálních odchylek. Poté provádějte každodenní kontrolu homogenity pomocí kalibrovaného waferu.
Pokud se nacházíte v prostředí s vysokou vlhkostí, ověřte rychlost proudění vzduchu. Jinak může kondenzace narušit infračervený paprsek a způsobit malé, opakované odchylky.