Stránky obsahující taxonomický termín “(PEB)” Ohřívač pro povrchové vysušování po expozici (PEB) V prostoru určeném k litografii je krok PEB tím místem, kde určujete šířku čar. Pokud posunete teplotu o 0,5 °C po povrchu waferu, vznikne chyba v... čti dále
Ohřívač pro povrchové vysušování po expozici (PEB) V prostoru určeném k litografii je krok PEB tím místem, kde určujete šířku čar. Pokud posunete teplotu o 0,5 °C po povrchu waferu, vznikne chyba v... čti dále
