Hören Sie auf, Energie zu verschwenden: Warum goldbeschichtete Reflektoren für Ihre Siliziumwafer wirklich wichtig sind
Wenn man eine Siliziumwafer erhitzt, ist jedes Watt von großer Bedeutung. Die meisten Menschen verwenden einfach Standardgehäuse aus poliertem Edelstahl. Doch das Problem ist: Diese Gehäuse saugen und streuen viel zu viel Energie auf. Es ist, als würde man versuchen, einen Raum mit einer schwachen Glühbirne und dunklen Wänden zu beleuchten. Wir nutzen dazu goldbeschichtete Reflektoren.
Gold ist der König der Infrarotreflexion. Es hilft dabei, die Wärmeenergie direkt wieder auf die Oberfläche der Wafer zurückzuschicken – genau dorthin, wo sie hingehört.
Der Trick zur Fokussierung der Energie
Normalerweise strahlen industrielle Heizer die Wärme in alle Richtungen ab. Ohne hochwertige Reflektoren geht etwa die Hälfte der Energie einfach verloren. Das ist pure Verschwendung. Mit goldbeschichteten Reflektoren kann man die Energie gezielt lenken. Durch das Aufbringen einer dünnen Schicht aus reinem Gold bleiben die Wärmeenergien innerhalb des Gehäuses. Dadurch wird eine bessere Fokussierung erreicht und die Temperatur bleibt über die gesamte Waferoberfläche konstant. Keine Vermutungen mehr nötig.
Richtige Herstellung – und die damit verbundenen Kompromisse
Wir fertigen die Gehäuse aus Edelstahl an, damit sie fest bleiben und während der hohen Temperaturen nicht verformen. Anschließend wird das Gold per Vakuumabscheidung aufgetragen.
Aber Achtung: Sauberkeit ist alles. Auch nur ein winziger Ölfleck oder Staub auf der goldbeschichteten Oberfläche kann zu „Kaltstellen“ auf der Waferoberfläche führen. Dadurch geht die Gleichmäßigkeit des Prozesses verloren.
In der Praxis
Sobald die Gehäuse eingebaut sind, werden Sie feststellen, dass weniger Energie benötigt wird, um die gewünschten Temperaturen zu erreichen. Sie haben zwei Möglichkeiten: Entweder reduzieren Sie die Leistung, um Strom zu sparen, oder Sie nutzen die zusätzliche Effizienz, um die Geschwindigkeit zu erhöhen. Die Entscheidung liegt bei Ihnen.
Denken Sie daran: Gold ist weich – viel weicher als Stahl. Bitte reinigen Sie die Gehäuse auf keinen Fall mit abrasiven Materialien. Dadurch wird die Beschichtung beschädigt und alle Effizienzvorteile gehen verloren. Verbinden Sie einfach die Gehäuse mit dem Stromnetz, justieren Sie die PID-Controller, damit sie mit dem erhöhten Wärmestrom umgehen können – dann werden Sie den Unterschied spüren.