In der Fertigungsbereich ist es wichtig zu wissen: Schon eine Abweichung von einem halben Grad bei der Temperaturkontrolle während des Weichbrennvorgangs reicht aus, um die Kontrolle über die kritischen Dimensionen zu beeinträchtigen – dadurch entstehen Defekte im Fotolack. Man braucht also eine Heizquelle, die konstant funktioniert, und keine weitere Variable, um mit derquelle umzugehen.
Was technisch wichtig ist:
Wir verwenden eine Lampe mit zwei Röhren, die mit Gold überzogen sind. Diese Lampe nutzt kurzwelliges Infrarotlicht und ist in einer golden overzogenen Quarzkapsel untergebracht. Dadurch entsteht eine schnelle, gezielte Erwärmung mit minimalem Strahlungsverlust. Die zweiröhrige Konstruktion sorgt dafür, dass die Belastung gleichmäßig verteilt wird – dadurch entstehen keine Hotspots und die Temperaturverteilung auf der Waferfläche ist besser.
In der Praxis ergibt sich eine Temperaturgleichmäßigkeit auf der Waferfläche von ±0,1 °C während des Weich- und Hartbrennvorgangs. Zudem bleibt die Genauigkeit der Einstellungen bei ±0,2 °C von Charge zu Charge konstant. Die Goldbeschichtung reflektiert das Infrarotlicht zurück in die gewünschte Zone – dadurch bleibt das thermische Profil stabil und der Energieverbrauch wird kontrolliert. Nach mehr als 5.000 Betriebsstunden bleibt die Leistung weiterhin stabil, wobei die Intensitätsabweichungen unter 5 % liegen.
Warum das in der Produktion funktioniert:
Bei der Verarbeitung von Fotolacken darf man keinen Fehler riskieren. Der Weichbrennvorgang bestimmt die Viskosität und Haftung des Fotolacks; der Hartbrennvorgang festigt das Bild und bereitet den Kunststoff für das Ätzen vor. Diese Lampe eignet sich für Lithografieprozesse von 150 mm bis 300 mm. Sie funktioniert auch in Reinräumen der Klassen 1 bis 100 problemlos – dabei entstehen keine Partikel. Dadurch wird die Kontrolle über die kritischen Dimensionen verbessert, es entstehen weniger Nacharbeitsgänge und weniger Ausschuss. Die Wärme kommt genau dorthin, wo sie benötigt wird – somit wird keine Energie verschwendet. Zudem bleibt die Leistung auch bei 24/7-Betrieb konstant – dadurch gibt es weniger Überraschungen und geringere Wartungszeiten.
Was bei der Installation beachtet werden sollte:
Bei der Installation ist eine präzise optische Ausrichtung sowie ein sauberer, vibrationsisolierter Aufhängungspunkt entscheidend. Selbst kleine Abweichungen von einigen Millimetern können dazu führen, dass die Temperaturgleichmäßigkeit beeinträchtigt wird. Die Lampe arbeitet mit hoher Strahlungsintensität – daher muss die Wärmeableitung des Trägers sowie die Zeitsteuerung des Schalters genau auf die Anforderungen abgestimmt sein. Vor der Installation sollten Sie unbedingt Spannungs- und Steckerverbindungen überprüfen. Wenn alles richtig eingestellt ist, ergeben sich wiederholbare Ergebnisse – Tag für Tag, Charge für Charge.