Wie man seine „Smart Fab“ wirklich „smart“ macht – mit Kohlenstofffasern und Infrarot-Technologie Wenn man eine „Smart Fab“ aufbaut, ist es leicht,...

Es ist eine Qual, einen Reinraum der Klasse 100 stets sauber zu halten. Man kann zwar die beste Luftfilterung der Welt haben – doch es spielt keine...

Mehr Wärme auf die Wafer bringen – ohne Energieverschwendung In einer Halbleiterfertigungsanlage ist das Ziel klar: So viel Wärmeenergie wie möglich...

Hören Sie auf, Energie zu verschwenden: Warum goldbeschichtete Reflektoren tatsächlich wichtig sind Wenn Sie Halbleiterwafern verarbeiten, zählt...

Hören Sie auf, Ihre Ausrüstung mit Hitze zu belasten – eine bessere Methode zur Steuerung der Wärme in Halbzeugmaschinen Wer schon einmal in einer...

Hören Sie auf zu warten, bis die Luftheizungen ihre Wirkung entfalten – die Magie von Infrarot- und Quarzscheiben Seien wir ehrlich: Auf das Erhitzen...

Verhindern Sie, dass Ihre Halbleiterwerkzeuge überhitzen. Das Problem mit herkömmlichen Infrarotlampen ist, dass sie Wärme in alle Richtungen...

Korrekte thermische Integration bei Bio-Sensoren Die Herstellung von Bio-Sensoren ist eine echte Herausforderung. Die chemischen Reaktionen sowie das...

Hören Sie auf, auf den Ofen zu warten – warum IR-Technologie der bessere Ansatz ist als konventionelle Luftzufuhrsysteme bei der Halbleiterfertigung...

Wir haben diese hochwertige RTP-Lampe entwickelt, damit sie auch in anspruchsvollen Fertigungsumgebungen zuverlässig funktioniert – in solchen...

Auf der Fertigungsfläche reicht bereits eine Abweichung von einem halben Grad bei der Heizung aus, um das Profil des Fotoresists um Nanometer zu...

Im Bereich der Lithografie ist das Erhitzen des Fotoleitschichtmaterials keine Art „Aufwärmphase“. Es handelt sich dabei vielmehr um einen wichtigen...

In der Fertigungshalle gilt folgendes Prinzip: Schon eine Schwankung von 1 °C während des Weichbrennvorgangs oder beim Trocknen der Wafer reicht aus,...

In der Fertigungshalle gilt: Schon eine Abweichung von eben einmal einem halben Grad bei der Aufheizung des Fotoleitmaterials kann dazu führen, dass...

Auf der Produktionsebene kann bereits ein einziger Wasserfleck nach der Lithographie zu erheblichen Problemen führen. Bei herkömmlichen...

In der Fertigungsbereich ist es wichtig zu wissen: Schon eine Abweichung von einem halben Grad bei der Temperaturkontrolle während des...

Auf dem Fertigungsboden ist das Backen von Fotolack nicht nur ein weiterer thermischer Schritt – es ist Ihr thermisches Budget. Wenn Sie auch nur um...

Auf dem Fertigungsboden zeigt sich thermische Drift nicht durch eine Sirene und einen Stopp. Sie äußert sich durch eine kritische Abweichung einer...