در فرآیندهای تولید، نوسانات دمایی در مراحل پختن فوتورزیست یا خشک کردن ویفرها، مسئلهای انتزاعی نیست؛ بلکه منجر به ایجاد نقصهای واقعی و کاهش بازدهی تولید میشود. وقتی که فر یا سطح گرمایشی نتواند دما را در محدوده مشخص شده نگه دارد، کنترل عرض خطوط روی ویفر از بین میرود، چسبندگی مواد کاهش مییابد و تعداد ذرات نیز افزایش مییابد. ما الکترودهای گرمایشی مادون قرمز خود را طوری طراحی کردهایم که این نوسانات را از بین ببرند؛ زیرا در فرآیندهای تولید نیمههادی، محدودیتهای دمایی زیادی وجود دارد و تکرارپذیری تنها چیزی است که قابل قبول است.
از نظر فنی، چه چیزی مهم است؟
الکترودهای گرمایشی مادون قرمز ما، یکنواختی دمایی در سطح ویفر را در محدوده ±۰.۱ درجه سانتیگراد حفظ میکنند؛ بنابراین فرآیندهای پختن ویفرها پایدار باقی میمانند. پاسخگویی این الکترودها سریع است؛ بنابراین وقتی درپوش فر باز میشود یا بستههای مختلف جایگزین یکدیگر میشوند، اختلافات دمایی کمتر میشود. این سیستم هیچ ذرهای تولید نمیکند و بدون مشکل در محیطهای تمیز کلاس ۱ تا ۱۰۰ نیز کار میکند. خروجی این سیستم در طول بیش از ۵۰۰۰ ساعت کار، کمتر از ۵٪ کاهش مییابد؛ بنابراین میتوانید برنامهریزی لازم برای نگهداری تجهیزات را انجام دهید، به جای اینکه با توقفهای غیرمنتظره مواجه شوید.
چرا این روش در فرآیندهای لیتوگرافی و خشک کردن مؤثر است؟
در فرآیندهای لیتوگرافی، فرآیند پختن مواد، تأثیر زیادی بر تبخیر حلالها و تنشات فیلمهای ناشی از آن دارد؛ حتی کوچکترین نوسانات دمایی نیز میتواند بر ابعاد مهم ویفر تأثیر بگذارد. در فرآیند خشک کردن ویفرها، رطوبت باقیمانده، میتواند منجر به ایجاد پلهای کوچک و آلودگیهایی در ویفر شود. روش مادون قرمز ما، این مشکلات را برطرف کرده و یکنواختی فرآیند را بهبود میبخشد. در نتیجه، کنترل ابعاد ویفر بهتر میشود، کارهای تکراری کمتر میشود و مصرف انرژی نیز کاهش مییابد؛ زیرا انرژی مستقیماً به سمت سطح ویفر میرود، نه برای گرم کردن فضای داخل فر.
چه چیزهایی برای کار صحیح این سیستم ضروری است؟
برای نصب این سیستم، باید طول موج و تراکم انرژی الکترودهای گرمایشی را با مشخصات منعکسکننده تجهیزات و چرخه بازخورد سنسورهای دمایی هماهنگ کرد. اتصال این سیستم به تجهیزات موجود کار سادهای است، اما استراتژی کنترل آن باید مناسب باشد؛ کنترل توسط سیستم باز، جایگزین کنترل توسط سیستم بسته نمیشود. پیشنهاد میشود قبل از شروع تولید، یک آزمایش کوتاه انجام دهید تا یکنواختی دمایی در سراسر ویفر بررسی شود.