در فرآیند بستهبندی سطح ویفر، در مرحله حرارتدهی، اختلافاتی در دمای قسمتهای مختلف ویفر ایجاد میشود. آیا این اختلافات ناشی از تغییرات دمایی در فوتورزیست یا اختلافات چند درجهای در فرآیند خشک شدن مواد استفاده شده در قالبهاست؟ در این صورت، کنترل عرض خطوط روی سطح ویفر دچار اختلال میشود؛ همچنین، حفرههایی در سطح ویفر ایجاد میشود و ویفر دچار تغییر شکل میگردد. عدم یکنواختی دمایی در سطح ویفر، نه تنها در نمودارها مشهود است، بلکه منجر به از کار افتادن واحدهای تولیدی و از دست رفتن ظرفیت تولید میشود.
موارد مهم از نظر فنی:
ما این دستگاه گرمایشی را برای رعایت استانداردهای حرارتی مورد استفاده در تجهیزات نیمههادی ساختهایم. پایداری دما در حد ±۰.۱ درجه سانتیگراد است؛ همچنین، یکنواختی دمایی در سطح فعال ویفر حفظ میشود. عناصر مادون قرمز با قابلیت اتصال حرارتی بهتر، باعث پاسخ سریع و کنترل دقیق دما میشوند.
این دستگاه برای استفاده در اتاقهای پاک با سطح کنترل ذرات در رده ۱ تا ۱۰۰ مناسب است؛ مواد استفاده شده نیز گازی تولید نمیکنند. این دستگاه به طور مداوم و بدون هیچ توقفی کار میکند و باعث حفظ یکنواختی فرآیند تولید میشود.
دلایل موفقیت این دستگاه:
در فرآیند بستهبندی سطح ویفر، انرژی به صورت یکنواخت در سطوح بزرگتر و نازکتر ویفر پخش میشود؛ این دستگاه کنترل دما را در همان جای مناسب انجام میدهد، یعنی در محل تماس فوتورزیست و قالب؛ بنابراین، گرادیانهای حرارتی باعث ایجاد تنش و عدم یکنواختی در ابعاد ویفر نمیشوند. این دستگاه باعث ایجاد عملکرد قابل پیشبینی در ابعاد ویفر، کاهش تعداد کارهای تکراری، و حفظ یکنواختی فرآیند تولید میشود.
مزایای این دستگاه:
مصرف انرژی کمتر است؛ زیرا جرم حرارتی کم و مدار کنترلی دقیقی وجود دارد. همچنین، بازههای نگهداری دستگاه نیز طولانیتر میشود؛ زیرا عناصر مورد استفاده مقاوم هستند و اتصالات مکانیکی نیز دقیق هستند.
نکات مهم:
برای نصب این دستگاه، باید اتصالات مناسب را انتخاب کرده و نوع منبع تغذیه و کانکتورها را مطابق با مشخصات دستگاه تنظیم کرد. فشار محیط و جریان گاز نیز باید در محدودههای مشخص شده باقی بماند؛ در غیر این صورت، یکنواختی دما در خطر قرار میگیرد. همچنین، باید یک آزمایش کوتاه انجام داد تا الگوی حرارتی دستگاه مشخص شود و فرآیند تولید به خوبی پیش برود.