از حمام شستشو، یک ویفر همراه با لایهای از آب DI خارج میشود. محفظه خشککن باید آن رطوبت را بدون آسیب رساندن به فوتوریست یا ایجاد ذرات بردارد. اگر تایمر دچار انحراف شود، زمان ماندگاری تغییر میکند—و این در خط تولید به صورت کاهش بازده ظاهر میشود. بنابراین، ما تایمری برای خشککنهای ویفر ساختیم که روند کار را دقیق نگه میدارد.
وظیفه فنی آن
این تایمر برای تجهیزات حرارتی نیمههادی طراحی شده است. دقت زمانبندی به 0.1% میرسد و قابلیت تکرار آن ±10 ms است. مستقیماً به حلقههای کنترل کوره متصل میشود، با ولتاژ 24 VDC و قفلهای PLC، و دارای رده IP54 برای شرایط هوای مرطوب و همراه با مواد شیمیایی سنگین اطراف مناطق شستشو است. ساختار سازگار با اتاق تمیز، مواد کم خروج گاز، و نمایشگری که زمان سپری شده و پایان سیکل را نشان میدهد—بدون نیاز به حدس و گمان. رابط کاربری عمداً ساده است: تنظیم، استارت، تایید.
اهمیت این موضوع در مرحله خشک کردن
فرایند خشک کردن ویفر تحت یک بودجه حرارتی محدود است. اگر سیکل بیش از حد کوتاه باشد، جای لکه آب باقی میماند. اگر طولانی باشد، احتمال ذوب مجدد فوتوریست یا مشکلات برآمدگی لبه پس از مرحله بعدی پوشش/پخت افزایش مییابد. این تایمر متغیرهای اپراتور را حذف میکند و همان سیکل را به صورت مداوم، دسته به دسته، تضمین میکند.
نتیجه، خشکی یکنواخت، کاهش نیاز به اصلاح مجدد، و شمارش ذراتی که بین شیفتها تغییر نمیکند است. همچنین مستندسازی را منظم نگه میدارد و زمانهای سیکل برای SPC را بدون ایجاد نویز در خط ثبت میکند.
موارد مورد نیاز برای نصب
نصب به تطابق ولتاژ کنترل و منطق قفل کوره محدود میشود. نمودارهای سیمکشی و کالیبراسیون برای تنظیم همزمانی بین پنجره زمانی تایمر و مرحلههای گرم شدن و نگهداری کوره ارائه میشود. برنامهریزی یک چک ادغام ۱۵ دقیقهای در زمان نگهداری پیشنهاد میشود.
تایمر مقاوم است اما جایگزین کنترل دما نیست. آن را همراه با برنامه تایید شده یکنواختی دمای کوره به کار ببرید تا فرایند کامل شود.