एमईएमएस वेफरों को सुखाने हेतु आईआर हीटिंग, हॉट एयर की तुलना में क्यों बेहतर है?

यदि आप अभी भी एमईएमएस सेंसर वेफरों को सुखाने हेतु हॉट एयर का उपयोग कर रहे हैं, तो आप बहुत अधिक समय बर्बाद कर रहे हैं… यह तो एक बड़ी समस्या है।
हॉट एयर में वायु को गर्म करना पड़ता है, और फिर वह गर्म हवा ही वेफर को गर्म करती है… यह एक मध्यवर्ती प्रक्रिया है, इसलिए यह धीमी है।
आईआर हीटिंग में ऐसा नहीं है… इसमें विद्युत-चुम्बकीय विकिरण का उपयोग करके वेफर की सतह को सीधे गर्म किया जाता है… कोई मध्यवर्ती प्रक्रिया नहीं है। इससे सुखाने की प्रक्रिया कुछ ही सेकंड में पूरी हो जाती है। जब आप बड़े पैमाने पर उत्पादन कर रहे होते हैं, तो यह बहुत ही लाभदायक है… आप हर घंटे में अधिक वेफर तैयार कर सकते हैं, बिना किसी बड़े क्लीनरूम की आवश्यकता के।
लेकिन आप बस एक पुराने कन्वेक्शन ओवन में आईआर लैंप लगाकर ही काम नहीं कर सकते।
ऐसी गति प्राप्त करने हेतु उच्च ऊर्जा घनत्व आवश्यक है… हम आमतौर पर शॉर्ट-वेव आईआर लैंपों का उपयोग करते हैं… क्योंकि ये वेफर पर मौजूद तरल पदार्थ को जल्दी ही गर्म कर देते हैं… लेकिन इसका नुकसान यह है कि इस तीव्र ऊर्जा के कारण वेफर खराब हो सकता है… इसलिए उचित सुरक्षा उपाय एवं रिफ्लेक्टरों की आवश्यकता है… वरना वेफर खराब हो सकता है।
नियंत्रण का मामला भी महत्वपूर्ण है… आईआर लैंप लगभग तुरंत ही वांछित तापमान तक पहुँच जाते हैं… यदि आपके PID कंट्रोलर धीमे हैं, तो तापमान नियंत्रण में समस्या हो सकती है… इसलिए ऐसे नियंत्रण तंत्र आवश्यक हैं जो इस गति के साथ काम कर सकें।
हम आमतौर पर ऐसे हीटरों को सटीक क्वार्ट्ज रिफ्लेक्टरों के साथ उपयोग में लाते हैं… ताकि ऊर्जा सही दिशा में जाए… निश्चित रूप से, आईआर हीटरों को स्थापित करना ब्लोअर एवं हीटिंग तत्वों को स्थापित करने की तुलना में थोड़ा जटिल है… लेकिन जब आप देखते हैं कि आपको कितना समय बच जाता है, तो यह हार्डवेयर कुछ ही महीनों में ही अपनी लागत वसूल लेता है।

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