なぜ真空式赤外線硬化が無鉛乾燥に最適なのか
半導体業界では、「グリーン」で無鉛の基準を目指しています。しかし問題は、従来の対流式オーブンではその要求に応えられないことです。空気を加熱するのに多くの時間がかかり、効率も悪く、電力の無駄遣いになってしまいます。
だからこそ、私たちは真空に適した赤外線ヒーターを採用しました。空気を使って熱を移動させるのではなく、赤外線を利用するのです。エネルギーは直接ウェハーや基板に伝わります。中間媒体が必要なく、空気が温まるのを待つ必要もありません。
物理的な仕組み
真空状態では、空気の流れがなく、熱が移動することはありません。つまり、熱が拡散しないのです。
私たちは、高温度でも真空状態を維持できるようにヒーターを設計しています。短波や中波の赤外線を利用することで、フォトレジストや接着剤の吸収帯に正確に熱を当てることができます。その結果、部品を数秒で所定の温度にすることができます。分単位ではなく、秒単位です。これにより、作業のスピードが大幅に向上します。
ハードウェアの詳細
私たちは材料には妥協しません。高純度の石英や特殊なセラミックスを使用しています。なぜなら、ガスが真空状態に漏れ出すと、シリコンが汚染され、全体の品質が悪化してしまうからです。また、フィラメントも高い電流密度に耐えられるように設計されています。これにより、熱がウェハー全体に均等に分布します。
ただし、熱膨張には注意が必要です。真空状態で最大出力で動作させると、熱がどこにも行く場所がありません。そのため、冷却板や真空フランジに大きな負荷がかかります。もし冷却システムが十分でなければ、装置が変形してしまいます。誰もそれは望みません。
地球環境とお財布にも良い
赤外線硬化法は、よりクリーンです。燃焼による副産物やVOCが発生しないのです。また、従来のエネルギー消費の多いヒーターに代わる簡単な解決策です。床面積を節約でき、部屋全体を暖める必要がないため、電気代も削減できます。効率的で静かで、実際に機能します。