혼란 없이 웨이퍼를 깨끗하게 유지하는 방법
만약 클래스 100 등급의 클린룸을 운영하고 있다면, 미세한 먼지 입자들로 인해 발생하는 문제들을 잘 알고 있으실 것입니다. 저가형 가열 소자에서 나오는 아주 작은 조각들이나 저품질 램프에서 나오는 가스들만으로도 웨이퍼가 망가질 수 있습니다. 그렇게 되면 생산 효율도 떨어집니다. 정말 큰 문제죠.
그래서 우리는 적외선 램프에 고순도 합성 석영을 사용합니다. 이렇게 하면 모든 것을 깨끗하게 유지할 수 있습니다.
석영이 효과적인 이유
우리는 융합된 실리카 석영을 사용하는데, 이는 온도 변화에도 견딜 수 있기 때문입니다. 열팽창 계수가 매우 낮아서, 빠르게 가열되거나 냉각될 때에도 균열이 생기지 않습니다.
더욱 좋은 점은, 뜨거워져도 휘발성 유기 화합물이 새어나오지 않는다는 것입니다. 따라서 순수한 적외선만이 방출됩니다. 기판에 화학 물질이 남아 있지 않습니다.
클린룸에 최적화된 설계
우리는 이 램프들을 밀폐된 구조로 설계했습니다. 다공성 재료가 전혀 없어서 먼지가 숨을 곳이 없습니다. 표면도 유리처럼 매끄러워서 먼지가 달라붙을 곳이 없습니다.
또한 배선에도 많은 신경을 썼습니다. 보통 연결 부위가 문제가 생기는 곳인데, 금속 조각들이 그곳으로 들어가서 문제를 일으킬 수 있습니다. 우리는 특수한 연결 방식을 사용하여 이러한 문제를 방지했습니다.
주의해야 할 몇 가지 사항
솔직히 말해서, 고순도 석영은 깨지기 쉬운 소재입니다. 열에는 잘 견디지만, 충격에는 약합니다. 만약 기계적 진동이 심하다면, 충격을 줄여주는 브라켓을 사용하는 것이 좋습니다. 또한 램프를 하우징에 너무 세게 끼우지 마세요. 팽창할 때 공간이 필요하기 때문입니다. 그렇지 않으면 램프가 깨질 수 있습니다.
운영상의 장점
단파 적외선을 사용하기 때문에, 표면을 직접 가열할 수 있습니다. 주변 공기를 가열하는 데 에너지를 낭비하지 않습니다. 이는 HVAC 및 여과 시스템에 큰 도움이 됩니다. 준비 시간도 단축되고, 건조 공정에 필요한 공간도 훨씬 줄어듭니다. 전체적으로 작업 흐름이 훨씬 원활해집니다.