Mengapa Pemanasan IR Lebih Baik Daripada Penggunaan Udara Panas untuk Mengeringkan Wafer MEMS
Jika anda masih menggunakan kaedah penggunaan udara panas untuk mengeringkan wafer sensor MEMS, anda akan membuang banyak masa hanya untuk menunggu. Ini merupakan halangan yang besar dalam proses pengeringan tersebut.
Cara kerja penggunaan udara panas adalah melalui proses konveksi. Anda perlu memanaskan udara terlebih dahulu, dan kemudian udara tersebut pula yang akan memanaskan wafer. Ia merupakan proses yang lambat.
Sebaliknya, pemanasan IR berfungsi dengan cara yang berbeza. Ia menggunakan radiasi elektromagnetik untuk memanaskan permukaan wafer secara langsung. Tiada proses perantaraan yang diperlukan. Dengan cara ini, masa yang diperlukan untuk mengeringkan wafer dapat dikurangkan daripada beberapa minit kepada hanya beberapa saat sahaja. Apabila anda menghasilkan wafer dalam kuantiti yang banyak, ini merupakan kelebihan yang besar. Anda boleh menghasilkan lebih banyak wafer setiap jam, tanpa perlu membina bilik bersih yang lebih besar.
Namun, anda tidak boleh sekadar memasukkan lampu IR ke dalam ketuhar konveksi lama dan menganggapnya sudah cukup. Untuk mencapai kelajuan pengeringan yang tinggi, anda memerlukan kekuatan tenaga yang tinggi. Kita biasanya menggunakan lampu IR gelombang pendek, kerana ia dapat memanaskan lapisan cecair pada permukaan wafer dengan cepat. Namun, intensiti cahaya tersebut boleh merosakkan struktur wafer jika tidak dikawal dengan baik. Anda memerlukan pelindung yang sesuai serta alat pantulan cahaya yang tepat. Jika tidak, wafer tersebut boleh rosak atau sensor-sensor di atasnya boleh rosak akibat panas yang berlebihan.
Selain itu, aspek kawalan juga penting. Lampu IR dapat mencapai suhu sasaran dengan sangat cepat. Jika sistem kawalan PID tidak efektif, suhu wafer mungkin melebihi had yang ditetapkan, sehingga merosakkan struktur MEMS tersebut. Anda memerlukan sistem kawalan yang mampu mengikuti kelajuan pengeringan yang tinggi ini.
Kami biasanya menyarankan agar pemanas IR digabungkan dengan reflektor kuarsa yang tepat, agar tenaga dapat disalurkan dengan efektif. Memang, penyediaan sistem pemanasan IR memerlukan usaha yang lebih banyak berbanding hanya memasang kipas dan elemen pemanas biasa. Namun, apabila anda melihat betapa banyaknya masa yang dapat dijimatkan, kos peralatan tersebut akan dapat dibayar balik dalam masa beberapa bulan sahaja.