Di kilang pembuatan wafer, prosesnya memerlukan ketepatan yang tinggi: perubahan suhu sebanyak setengah darjah saja sudah cukup untuk mengganggu kawalan dimensi wafer tersebut, sehingga wafer yang sepatutnya berkualiti tinggi menjadi sampah. Oleh itu, diperlukan sistem pemanasan yang mampu meningkatkan suhu dengan cepat, menstabilkannya serta memastikan suhu tetap stabil dari satu kitaran ke kitaran yang lain.
Apa yang penting dalam reka bentuk pemanas wafer ini
Kami menggunakan elemen halogen berpanjang gelombang pendek yang terletak di dalam pembungkus quartz untuk membuat pemanas wafer ini. Pilihan ini dibuat demi kelajuan dan untuk memastikan suhu tetap stabil. Kecerdasan suhu pada permukaan wafer dapat dikawal dalam lingkungan ±0.1°C, manakala kebolehulangan proses pemanasan pula berada dalam lingkungan ±0.2°C setelah ribuan kitaran pemanasan dilakukan.
Badan lampu ini direka untuk digunakan dalam bilik bersih kelas 1–100. Bahan-bahan yang digunakan dipilih khusus untuk mengelakkan penghasilan zarah-zarah yang boleh merosakkan proses pembuatan wafer. Stabiliti output lampu pula dapat dikawal dalam lingkungan 1% selama lebih dari 5,000 jam, jadi ia boleh beroperasi 24/7 tanpa gangguan.
Mengapa ini penting dalam proses litografi
Dalam proses litografi, proses pemanasan yang tepat diperlukan untuk menghilangkan pelarut dan menstabilkan struktur filem yang digunakan. Jika suhu tidak dikawal dengan baik, struktur wafer akan terganggu. Ini akan menyebabkan ketidakstabilan garis-garis pada wafer, peningkatan jumlah wafer yang perlu dibuat semula, dan penurunan kadar keberhasilan proses pembuatan wafer.
Kelajuan penggantian lampu juga penting. Gantilah lampu dalam masa beberapa jam sahaja, bukan minggu-minggu, agar jadual pengeluaran dapat dipertahankan dan gangguan dalam proses pengeluaran dapat dielakkan. Penggunaan tenaga pula dapat dikawal melalui spektrum gelombang pendek dan reka bentuk reflektor yang efisien, sekali gus mengurangkan kos operasi tanpa menurunkan kelajuan pengeluaran.
Perkara-perkara yang perlu diperhatikan
Lampu ini direka untuk digunakan pada platform pemanas wafer standard, namun saiz dan antaramuka pemasangan berbeza mengikut pengeluar peralatan. Sebelum memasangnya, pastikan bahawa aspek mekanikal, sambungan elektrik, dan isyarat kawalan sesuai. Untuk prestasi maksimum, pastikan lampu beroperasi dalam julat voltan yang ditetapkan, serta pastikan laluan cahaya dan sistem penyejukan berfungsi dengan baik. Jika tidak, suhu lampu boleh melebihi had yang ditetapkan semasa proses pemanasan yang cepat.