Op de lithografielijn is het verhitten van de fotoresist geen soort ‘opwarmingsproces’. Het gaat hier om een essentieel onderdeel van het proces. Als de temperatuur tijdens dit proces ook maar één of twee graden afwijkt van de gewenste waarde, dan zullen de vereiste toleranties voor de afmetingen van het product niet meer worden nageleefd. Bovendien kan het optreden van deeltjes het hele proces in gevaar brengen. Er is dus behoefte aan een infraroodbron die een constante temperatuur kan leveren – zonder enige onzekerheid.
Wat technisch gezien belangrijk is: We hebben de infraroodlamp ontworpen voor het verhitten van fotoresist, met behulp van kortegolflange infraroodstraling en kwartscomponenten die snel reageren op temperatuursveranderingen. Het systeem is zo ontworpen dat er een temperatuuruniformiteit van ±0,1°C wordt behaald over todaal oppervlak van het te verhitten materiaal. Hierdoor krijgt elk deel van het product dezelfde behandeling. De compatibiliteit met cleanrooms van klasse 1–100 is ingebouwd; dit wordt bereikt door het gebruik van materialen die weinig gassen afgeven en door een geometrie die het vormen van deeltjes minimaliseert. Het voorkomen van deeltjes is geen slogan – we zorgen hiervoor door het gebruik van controleerbare materialen en een goed afgesloten thermisch systeem. De lamp werkt 24/7, zonder onverwachte stilstandstijden, en de uitgangstemperatuur blijft binnen strikte toleranties gedurende meer dan 5.000 uur.
Waarom dit werkt in de praktijk: Deze lamp zorgt ervoor dat de fotoresist op de juiste temperatuur komt. Het materiaal wordt snel op temperatuur gebracht en dan op die temperatuur gehouden. Hierdoor is de precisie van het proces hoger en wordt er minder afval geproduceerd. De hoge temperaturen verminderen defecten aan de randen van het materiaal, terwijl de snelle reactie van de lamp de verhittingscyclus verkortt, zonder dat de controle over de temperatuur verloren gaat. De energieverbruik neemt af, omdat de lamp alleen op vraag wordt gebruikt en snel afkoelt. Ook wordt er minder onderhoud nodig, omdat er minder lampen moeten worden vervangen.
Dingen waar je rekening mee moet houden: Voor de installatie moet de geometrie van de reflector en de openingen worden aangepast aan de coatingoven. De lamp moet ook worden verbonden met de temperatuurregeling van de oven. Voordat je iets verandert, moet je controleren of de spanning en de aansluitingen compatibel zijn met de interface van de fabrikant. Na een koude start zal het even duren voordat het systeem thermisch gestabiliseerd is. Plan je processen hierop in, zodat je binnen de vereiste parameters blijft.