Het behouden van veiligheid: Infraroodverwarmers bij chemische reiniging
Wanneer je werkt met semiconductoren, heb je te maken met gevaarlijke oplosmiddelen en brandbare dampen. Eén verkeerde vonk of een klein scheurtje in een verwarmingselement kan al tot grote problemen leiden. Dat is stressvol.
Daarom bouwen we geen gewone verwarmers; we bouwen ze zodat ze bestand zijn tegen zulke omstandigheden.
De beschermende buitenlaag
We laten de kwartsbuis niet zomaar bloot. Dat zou alleen maar problemen opleveren. In plaats daarvan wikkelen we alles in een sterke, waterdichte laag, zodat de brandbare gassen ver weg blijven van de hete filamenten en elektrische verbindingen.
Afhankelijk van hoe gevaarlijk de reinigingsmiddelen zijn, gebruiken we een laag gemaakt van hoogzuiver kwarts of een sterke keramische composiet. Dit fungeert als een schild. Als er een lek optreedt – en eerlijk gezegd gebeurt dat soms wel – komt de vloeistof in contact met deze laag, en niet met de elektriciteit. Het is een eenvoudige oplossing die een ramp voorkomt.
Blijven koelen onder druk
Om te voorkomen dat de temperatuur te veel schiet, plaatsen we thermocoupons recht in het verwarmingssysteem. Hierdoor kan de warmtestroom in real-time worden gemeten.
Voor deze sensoren gebruiken we kabels met mineraalisolatie. Standaardkabels smelten of roesten namelijk wanneer ze in contact komen met deze dampen. Hierdoor kun je er zeker van zijn dat de PID-regeling goed werkt. Je krijgt zo een stabiele temperatuur op de wafer, zonder dat je je zorgen hoeft te maken over oncontroleerbare situaties.
Het voordeel en het nadeel
Eerlijk gezegd: door deze beschermende laag ontstaat er een kleine thermische opening. Hierdoor verdwijnt er een beetje van de directe stralingswarmte vergeleken met een gewone lamp.
Om dit op te lossen, verhogen we de vermogenssterkte van de verwarmers. Op deze manier bereik je nog steeds de gewenste temperatuur. Let er wel op dat je afvoersysteem in staat is om het extra warmtevolume aan te kunnen.
We bouwen deze apparaten zodat ze bestand zijn tegen extreme omstandigheden. Combineer ze gewoon met een goed geaard, explosiebestendig controleapparaat, en je kunt gerust werken in gebieden met veel dampen.