На этапе литографии процесс прогрева фоторезиста не является лишь этапом разогрева – это важный этап, определяющий качество процесса. Даже небольшое отклонение температуры в один-два градуса может привести к существенному ухудшению точности размеров изделий. Если к этому добавить ещё и образование частиц, то весь производственный процесс может пойти наперекосяк. Необходим источник инфракрасного излучения, способный обеспечивать стабильную температуру – без необходимости приблизительных оценок.
Что имеет значение с технической точки зрения
Мы разработали инфракрасную лампу для обработки фоторезиста с использованием кварцевых элементов с короткой длиной волны и быстрой реакцией на изменения температуры. Система обеспечивает одинаковую температуру на всей поверхности пластины с точностью до ±0,1°C, так что каждый элемент пластины получает одинаковые условия обработки. Система совместима с помещениями класса чистоты 1–100 благодаря использованию материалов с низким уровнем выделения газов и специальной конструкции, предотвращающей образование частиц. Полное отсутствие частиц – это не просто декларация; мы достигаем этого за счет использования контролируемых материалов и герметичной конструкции. Лампа работает круглосуточно без перерывов, а ее мощность остается стабильной в течение более 5000 часов.
Почему это эффективно в производственных условиях
Лампа распределяет тепло именно там, где это необходимо. Она быстро поднимает температуру пластины до нужного уровня, а затем поддерживает ее на этом уровне. Это способствует повышению точности процесса и снижению количества бракованных изделий. Высокая степень однородности температуры снижает количество дефектов на краях пластины, а быстрая реакция лампы на изменения температуры сокращает время обработки без потери контроля над процессом. Энергопотребление снижается благодаря возможности быстрого нагрева и охлаждения лампы, а меньшее количество замен лампы сокращает время простоя оборудования.
Что нужно знать заранее
При установке необходимо соответствующим образом настроить геометрию отражателя и диафрагмы в соответствии с характеристиками печи для нанесения покрытия. Также необходимо соединить лампу с системой контроля температуры печи. Перед модернизацией необходимо проверить совместимость напряжения и разъемов с интерфейсом производителя оборудования. Ожидайте короткого времени настроек после запуска при первом включении, пока система не стабилизируется. Учитывайте это при планировании процесса обработки, чтобы все происходило в пределах необходимых параметров.