Почему инфракрасное нагревание лучше, чем нагрев горячим воздухом для сушки пластин с МЭМС-датчиками
Если вы по-прежнему используете нагрев горячим воздухом для сушки пластин с МЭМС-датчиками, вы теряете слишком много времени в ожидании. Это серьезный недостаток.
Принцип работы нагрева горячим воздухом основан на конвекции: сначала необходимо нагреть воздух, а затем уже этот воздух нагревает пластину. Этот процесс медленный.
Инфракрасное нагревание работает иначе: оно использует электромагнитное излучение для прямого нагрева поверхности пластины. Нет необходимости в промежуточном слое воздуха. Благодаря этому время сушки сокращается с нескольких минут до нескольких секунд. Это огромный преимущество при производстве больших объемов продукции – можно выпускать больше пластин в час, не увеличивая размеры чистой комнаты.
Но нельзя просто поместить инфракрасную лампу в старую печь с системой конвекции и считать, что все готово. Чтобы достичь такой скорости, необходима высокая плотность мощности. Обычно мы используем лампы с коротковолновым излучением, так как они быстро проникают сквозь жидкостной слой на поверхности пластины. Но есть и недостатки: такая интенсивность излучения может повредить пластину или датчики. Необходимо использовать соответствующую защиту и отражатели. В противном случае возникает риск повреждения пластины или датчиков.
Еще нужно учитывать вопросы контроля. Инфракрасные лампы достигают заданной температуры почти мгновенно. Если контроллеры PID работают медленно, температура может превысить разрешенный уровень, что может повредить структуру МЭМС-датчиков. Необходим контрольный механизм, способный справляться с такой скоростью.
Мы обычно рекомендуем использовать вместе с такими нагревателями точные кварцевые отражатели, чтобы энергия распределялась равномерно. Конечно, настройка инфракрасных нагревателей требует больше усилий, чем просто установка вентилятора и нагревательного элемента. Но если учесть экономию времени, оборудование окупается уже через несколько месяцев.