На производственном участке термические изменения в процессах выпечки фоторезиста или сушки пластин не являются какой-то абстрактной проблемой – они приводят к реальным дефектам и снижению качества продукции. Когда печь или нагревательная платформа не могут поддерживать температуру в заданных пределах, контроль толщины слоя на пластине становится затруднительным, снижается прочность соединений между слоями, а количество частиц в продукте увеличивается. Мы спроектировали наши инфракрасные нагреватели таким образом, чтобы устранить эти факторы нестабильности. В процессе производства полупроводников критически важна стабильность температуры, поэтому повторяемость процесса является единственным приемлемым параметром.
Что имеет значение с технической точки зрения
Наши инфракрасные нагреватели обеспечивают однородность температуры на поверхности пластины до ±0,1°C, что позволяет сохранять стабильность параметров процесса выпечки и сушки. Реакция нагревателей наставлена так, что температура не сильно меняется при открытии крышки или при смене партий продукции. Благодаря этому дизайну не образуется никаких частиц, а устройство может использоваться в условиях чистых комнат класса 1–100. Работа нагревателей остается стабильной в течение более 5 000 часов, с падением эффективности менее 5%, что позволяет планировать техническое обслуживание заранее, а не реагировать на неплановые сбои.
Почему это работает в процессах литографии и сушки
В процессе литографии процесс выпечки влияет на процесс испарения растворителей и напряжение в пленке; даже небольшие изменения температуры могут повлиять на критические размеры изделия. При сушке пластин остаточная влага может привести к образованию микромостиков и загрязнению поверхности. Наш инфракрасный метод помогает преодолеть эти проблемы, обеспечивая более точный контроль параметров процесса и повышая его повторяемость. Это позволяет получать изделия с более высокой точностью размеров, снижает количество необходимой доработки и потребление энергии на единицу продукции – ведь энергия идет непосредственно на подложку, а не на нагрев камеры.
Что необходимо сделать правильно
Для правильной установки необходимо соотнести длину волны излучения и мощность нагревателя с геометрией отражателя оборудования и системой контроля температуры. Подключение к существующему оборудованию происходит легко, но стратегия управления должна быть оптимальной – открытая система управления не может заменить закрытую систему контроля температуры. Перед началом полноценного производства необходимо провести короткий тестовый период для настройки параметров и проверки однородности температуры по всей поверхности пластины.