ในโรงงานผลิตชิปนั้น คุณก็รู้ดีว่า การเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิเพียง 1 องศาเซลเซียสในขั้นตอนการอบวัสดุโฟโตรีซิสต์หรือการอบวัตถุดิบชิป ก็เพียงพอที่จะทำให้ขนาดของชิปเปลี่ยนไป และส่งผลให้อัตราการผลิตลดลง นั่นคือเหตุผลว่าทำไมโคมไฟอินฟราเรดที่ใช้ในเครื่องมืออบวัตถุดิบชิปถึงถูกออกแบบมาให้สามารถควบคุมอุณหภูมิได้อย่างแม่นยำ
สิ่งที่สำคัญจริงๆ คืออะไร? เราเลือกใช้เครื่องกำเนิดแสงอินฟราเรดคลื่นสั้นร่วมกับตัวรับแสงที่ทำจากควอตซ์คุณภาพสูง เพื่อให้เกิดการให้ความร้อนอย่างรวดเร็วและแม่นยำ โดยมีความแม่นยำของอุณหภูมิอยู่ที่ ±0.1 องศาเซลเซียส และความสามารถในการควบคุมอุณหภูมิให้อยู่ในช่วงที่กำหนดได้ที่ ±0.5 องศาเซลเซียส การออกแบบนี้ยังช่วยให้ไม่มีอนุภาคใดๆ เกิดขึ้นระหว่างการทำงาน และยังเหมาะสำหรับการใช้งานในห้องสะอาดระดับ Class 1 ถึง Class 100 อีกด้วย การจ่ายพลังงานก็มีความสม่ำเสมอ มีความแม่นยำของแรงดันไฟฟ้าสูง และมีความสม่ำเสมอของระดับแสงที่ส่องไปยังวัตถุดิบชิป ดังนั้นอุณหภูมิที่ได้จะสม่ำเสมอในทุกๆ เครื่องมือและทุกๆ ช่วงเวลาการทำงาน
ทำไมสิ่งนี้ถึงมีความสำคัญในกระบวนการผลิตชิป? ในกระบวนการผลิตชิป ขั้นตอนการอบวัสดุโฟโตรีซิสต์จะช่วยให้สารละลายถูกขจัดออกไป และช่วยให้วัสดุโฟโตรีซิสต์เกาะติดกับวัตถุดิบชิปได้ดี ส่วนขั้นตอนการอบแบบแข็งจะช่วยให้รูปร่างของชิปคงที่ก่อนการขัดถู โคมไฟอินฟราเรดของเราช่วยให้อุณหภูมิคงที่ ช่วยลดความผิดเพี้ยนของความกว้างของเส้นขอบชิป และช่วยป้องกันปัญหาเกี่ยวกับขอบชิปได้ สำหรับการทำความสะอาดและการอบวัตถุดิบชิป การให้ความร้อนอย่างรวดเร็วจะช่วยลดเวลาการทำงาน และช่วยลดการใช้พลังงาน ผลลัพธ์ที่ได้คืออัตราการผลิตที่สูงขึ้น มีการทำงานซ้ำน้อยลง และได้ผลลัพธ์ที่แม่นยำในทุกๆ ขั้นตอนการผลิต
เคล็ดลับที่ช่วยให้คุณไม่ต้องกังวล การติดตั้งโคมไฟอินฟราเรดนั้นต้องมีการจัดวางให้ถูกต้องระหว่างโคมไฟ ตัวรับแสง และกระจกสะท้อนแสง เพื่อให้ได้อุณหภูมิที่สม่ำเสมอ ก่อนเริ่มการใช้งาน ควรตรวจสอบการเชื่อมต่อทางความร้อนและทางการระบายความร้อน และตรวจสอบให้แน่ใจว่าวัสดุของตัวรับแสงสามารถทำงานร่วมกับสารละลายที่ใช้ในกระบวนการผลิตได้ดี ควรมีการเปลี่ยนโคมไฟตามกำหนดเวลา เพื่อรักษาระดับแสงที่สม่ำเสมอและรักษาอุณหภูมิให้อยู่ในเกณฑ์ที่กำหนดตลอดช่วงเวลาการผลิต