Üretim alanında, litografiden sonra oluşan tek bir su izi bile büyük zararlara yol açabilir. Geleneksel kurutma yöntemlerinde sıcaklık dalgalanmaları meydana gelir ve parçacıklar sıcak yüzeylerden doğrudan filmin içine karışır. Bu tür sorunları ortadan kaldırmak için deiyonize su kullanarak kurutma işlemi gerçekleştiriyoruz. Kısa dalga boyundaki kızılötesi ışınlar, su tabakasına hızla etki ederek yüzeyi ısıtır; ancak bu işlemde rezistansın limitleri aşılmaz. Böylece wafler temiz bir şekilde kurutulur ve yumuşak/sert pişirme işlemleri de belirlenen sıcaklık aralığında gerçekleşir.
Kritik olan faktörler
Kısa dalga boyundaki kızılötesi ışınlar, su tabakasını hızla geçer. Kuvars kaplama ve yansıtıcı yapı sayesinde ısı gereken yerde kalır. Böylece waflerde ±0,1°C’lik bir düzgünlük elde edilir ve fotoresistin pişirilmesi sürecinde tekrarlanabilir sonuçlar elde edilir. Sistem, Class 1–100 temiz odalarda çalışır. Isıl bölge hiçbir parçacık üretmez ve rezistansı kirletecek herhangi bir gaz yayılımı olmaz. Güç yoğunluğu, fotosentetik maddelerin termal sınırlarını aşmadan buharlaşmayı sağlayacak şekilde ayarlanır. Lambanın çıkış gücü 24 saat boyunca sabit kalır ve 5.000 saatten fazla kullanım sonrasında bile %5’ten az bir düşüş görülür.
Neden üretimde önemli?
Bu sistem, yavaş olan konveksiyon yöntemlerini ve sıcak plakaları gereksiz kılar. Wafler daha hızlı kurur ve temas açısı her seferinde aynı kalır. Fotoresist profilleri her seferinde tekrarlanabilir. Sonuç olarak yeniden işlemler azalır, atık miktarı düşer ve kritik boyutlar daha stabil bir şekilde kontrol edilebilir. Enerji tüketimi de azalır; çünkü su ve wafler ısıtılır, ancak çevrelerindeki hava ısıtılmaz. Hareketli parçaların ve ağır ısı yüklerinin bulunmaması sayesinde bakım periyotları uzar.
Dikkat edilmesi gerekenler
Lambanın cihazın apertürüne, güç kaynağına ve soğutma sistemine uyumlu olması gerekir. Gerilim ve bağlantı uyumluluğunu kontrol edin ve lambanın termal profili mevcut prosedürlerle uyumlu olsun. Waflerin yüzey kimyasalları kontrol altındayken lamba en iyi performansı gösterir. İz kalan yüzey aktif maddeleri kurutma sürecini etkileyebilir; bu yüzden bunları önceden kontrol edin.