Üretim tesislerinde, fotoresistin pişirilmesi veya yongaların kurutulması sırasında meydana gelen termal değişiklikler, soyut bir sorun değildir; bu değişiklikler gerçek kusurlar ve verimlilik kayıpları olarak ortaya çıkar. Fırın veya ısıtıcı cihazlar sıcaklığı belirlenen aralıkta tutamadığında, hat genişliği kontrolü bozulur, yapışma özelliği azalır ve parçacık sayısı artar. Biz de kızılötesi ısıtıcı elemanlarımızı, bu tür değişkenlikleri ortadan kaldıracak şekilde tasarladık. Çünkü yarı iletken işlemlerinde termal kontrol çok önemlidir ve tekrarlanabilirlik tek kabul edilebilir parametredir.
Teknik açıdan önemli olanlar:
Kızılötesi ısıtıcı elemanlarımız, yonga seviyesinde ±0,1°C’lik bir termal uniformite sağlar; böylece hem yumuşak pişirme hem de sert pişirme işlemleri stabil kalır. Yanıt hızlıdır; bu da kapak açıldığında veya farklı parti işlenirken sıcaklık dalgalanmalarını en aza indirir. Bu tasarım, hiçbir parçacık üretmez ve temiz oda koşullarında (Class 1–100) sorunsuz çalışır. 5.000 saatten fazla süre boyunca çıktı sabit kalır ve düşüş oranı %5’in altındadır. Böylece plansız duruş sürelerini önlemek için bakım planları yapılabilir.
Litografide ve kurutma işlemlerinde neden işe yarar?
Litografide, yumuşak pişirme işlemi çözücülerin buharlaşmasını ve filmin gerilimini etkiler; küçük bile olsa sıcaklık değişiklikleri kritik boyutların davranışlarını değiştirir. Yonga kurutma işlemlerinde ise kalan nem, mikrobirimlerin oluşmasına ve kirlenmelere yol açar. Kızılötesi ısıtıcılar bu tür sorunları ortadan kaldırarak işlem sürecini daha kontrol altına alır ve parti bazında tekrarlanabilirliği artırır. Böylece daha iyi bir boyut kontrolü elde edilir, yeniden işleme ihtiyacı azalır ve her yonga başına harcanan enerji de düşer; çünkü enerji doğrudan yüzeye yönlendirilir, odanın ısınması için kullanılmaz.
Doğru şekilde yapılandırabilmek için gerekenler:
Montaj işlemi, ısıtıcı elemanın dalga boyunu ve güç yoğunluğunu, kullanılan ekipmanın yansıtıcı yapısına ve termal sensörlerin geri besleme mekanizmasına uyumlu hale getirmeyi içerir. Mevcut ekipmanlara bağlamak oldukça basittir; ancak kontrol stratejisinin doğru olması gerekir. Açık döngü kontrolü, kapalı döngü sıcaklık kontrolünün yerini tutamaz. Tam üretime geçmeden önce, ayarları optimize etmek ve yonga üzerindeki uniformitenin sağlandığından emin olmak için kısa bir test süreci yapılmalıdır.