Üretim alanında bilindiği gibi, yumuşak pişirme işleminde yarım derecelik bir sapma bile kritik ölçümlerin bozulmasına ve fotorezistte kusurların oluşmasına neden olabilir. Bu yüzden sabit bir ısı kaynağına ihtiyaç vardır; değişken bir ısı kaynağı değil.
Teknik açıdan önemli olanlar
Biz, altın kaplamalı bir kuvars kutu içinde yer alan, kısa dalga boylu kızılötesi ışık yayabilen çift tüplü bir lamba kullanıyoruz. Böylece hızlı ve yönlendirilebilir ısıtma sağlanıyor ve radyasyon kaybı en aza indiriliyor. Çift tüp yapısı, yük dağılımını dengeliyor; bu da sıcak noktaların azalmasını ve wafer üzerindeki sıcaklık homojenliğinin artmasını sağlıyor.
Gerçekte, yumuşak ve sert pişirme işlemleri sırasında waferin sıcaklık homojenliği ±0,1°C arasında kalıyor. Ayrıca, parti başına ±0,2°C’lik bir tekrarlanabilirlik elde ediliyor. Altın kaplama, kızılötesi ışığı hedef bölgeye geri yansıtarak termal profilin daha düzgün olmasını sağlıyor ve enerji tüketimini kontrol altında tutuyor. 5.000 saatten fazla kullanımdan sonra bile çıkış gücü stabil kalıyor ve yoğunlukta %5’ten az bir sapma oluyor.
Neden üretimde başarılı oluyor?
Fotorezist işlemlerinde çok küçük hatalar bile kabul edilemez. Yumuşak pişirme işlemi, fotorezistin viskozitesini ve yapışma özelliklerini belirler; sert pişirme işlemi ise görüntüyü tamamlar ve waferin aşındırılması için hazırlanmasını sağlar. Bu lamba, 150 mm ile 300 mm arasındaki litografik hatları destekler ve Class 1’dan Class 100’e kadar olan temiz odalarda sorunsuz çalışır. Ayrıca çalışırken hiçbir parçacık üretmez.
Böylece daha iyi bir boyut kontrolü, daha az yeniden işleme gereksinimi ve daha az atık elde edilir. Isı, gerektiği yerlere gider; bu sayede enerji boşa harcanmaz. Ayrıca 24/7 çalışma koşullarında bile performansı düşmez; bu da beklenmedik durumların ve bakım gereksinimlerinin azalmasını sağlar.
Montaj sırasında dikkat edilmesi gerekenler
Montaj sırasında hassas optik hizalanma ve temiz, titreşimden arındırılmış bir yapı çok önemlidir. Hizalamada sadece birkaç milimetrelik bir sapma bile homojenliği bozar.
Lamba yüksek şiddette ışık yaydığı için, substrat taşıyıcıların termal yönetimi ve kapakların zamanlaması da buna göre ayarlanmalıdır. Montajdan önce voltaj ve konektör uyumluluğunu mutlaka kontrol edin. Her şey doğru şekilde hizalandığında, gün be gün, parti be parti tekrarlanabilir pişirme sonuçları elde edilir.