Trong quy trình sản xuất, chỉ cần một vết nước nhỏ thôi cũng có thể gây hư hại nghiêm trọng cho các tấm wafer sau khi được in ấn bằng kỹ thuật lithography. Phương pháp sấy thông thường gây ra sự biến động về nhiệt độ, và các hạt bụi sẽ di chuyển từ bề mặt nóng vào lớp phim in. Chúng tôi đã chế tạo những chiếc đèn sấy sử dụng nước đã được khử ion để loại bỏ những yếu tố gây biến động này. Tia hồng ngoại cường độ cao giúp làm nóng lớp nước một cách nhanh chóng, mà không làm ảnh hưởng đến lớp phim in. Nhờ đó, các tấm wafer được sấy khô một cách sạch sẽ, và quá trình sấy diễn ra trong điều kiện nhiệt độ ổn định.
Điều quan trọng cần lưu ý: Tia hồng ngoại cường độ cao giúp xuyên qua lớp nước một cách nhanh chóng. Cấu trúc của lớp vỏ thủy tinh và bộ phản xạ giúp giữ nhiệt ở vị trí cần thiết. Điều này giúp đảm bảo độ đồng đều của nhiệt độ trên các tấm wafer ở mức ±0,1°C, đồng thời giúp kiểm soát chính xác nhiệt độ trong quá trình sấy phim in. Hệ thống này hoạt động trong các phòng sạch loại 1–100. Khu vực được làm nóng không tạo ra bất kỳ hạt bụi nào, và cũng không có khí thải nào gây ô nhiễm lớp phim in. Mật độ năng lượng được điều chỉnh sao cho phù hợp, nhằm đảm bảo quá trình bay hơi diễn ra mà không vượt quá giới hạn nhiệt độ của lớp phim in. Công suất đầu ra của đèn luôn ổn định, và chúng tôi đã ghi nhận rằng các đèn này có thể hoạt động liên tục trong hơn 5.000 giờ mà hiệu suất giảm dưới 5%.
Tại sao nó lại hữu ích trong sản xuất: Việc sử dụng đèn này giúp thay thế các phương pháp sấy truyền thống, vốn có tốc độ chậm và gây biến động về nhiệt độ. Các tấm wafer được sấy khô nhanh hơn, và góc tiếp xúc giữa các tấm wafer với bề mặt sấy vẫn ổn định. Điều này giúp đảm bảo tính đồng đều của lớp phim in giữa các lần sản xuất. Kết quả là số lượng sản phẩm phải làm lại giảm xuống, và kiểm soát kích thước các chi tiết trên tấm wafer cũng trở nên dễ dàng hơn. Việc sử dụng năng lượng cũng giảm xuống, vì chúng ta chỉ cần làm nóng nước và tấm wafer, chứ không phải không khí xung quanh chúng. Thời gian thay thế đèn cũng kéo dài hơn, và thời gian bảo trì cũng giảm đi, nhờ vào thiết kế không sử dụng các bộ phận chuyển động và khối lượng nhiệt lớn.
Những điều cần lưu ý khi lắp đặt: Khi lắp đặt, cần đảm bảo rằng đèn phù hợp với kích thước của công cụ sử dụng, nguồn điện cung cấp, và hệ thống làm mát. Cần kiểm tra xem điện áp và kết nối có tương thích hay không, đồng thời đảm bảo rằng thông số nhiệt của đèn phù hợp với quy trình sản xuất hiện tại. Đèn sẽ hoạt động tốt nhất khi bề mặt tấm wafer được kiểm soát tốt. Các chất hoạt động bề mặt có thể ảnh hưởng đến quá trình sấy, vì vậy cần kiểm soát chúng từ đầu chu trình sản xuất.