停止浪费热量：为什么镀金反射器对硅晶圆如此重要
在加热硅晶圆时，每一瓦特的能量都至关重要。
大多数人使用普通的抛光不锈钢外壳，但问题在于：这类材料会吸收并散射大量能量。这就好比试图用昏暗的灯泡和黑暗的墙壁来照亮一个房间。我们则使用镀金反射器来解决这个问题。
黄金是红外反射效率最高的材料。它不仅能有效反射热量，还能将热量直接反射回晶圆表面。
聚焦热量的关键
通常，工业用加热器会将热量向各个方向扩散。如果没有高性能的反射器，大约有一半的能量会白白浪费在机器的框架上。而使用镀金反射器后，热量就能被牢牢地限制在腔体内部，从而实现更精准的加热效果，同时保持整个晶圆表面的温度一致。再也不用凭猜测来控制温度了。
正确制造反射器的方法及注意事项
我们使用不锈钢作为外壳材料，这样就能确保其在高温环境下不会变形。然后，通过真空沉积技术在表面上镀上一层高纯度的黄金。
不过需要注意的是：**清洁度非常重要！**哪怕是极微小的油污或灰尘，都可能会在晶圆表面形成“冷点”，从而导致加工过程的均匀性下降。
实际应用
一旦安装了这样的反射器，你会发现达到目标温度所需的功率大大降低。这时你可以选择两种方式：要么降低功率以节省电能，要么利用更高的效率来提升加工速度。具体如何选择由你决定。
请记住，黄金的硬度很低，远低于钢铁。为了保护你的设备，请千万不要用粗糙的磨料来擦拭这些反射器，否则镀层会被破坏，所有带来的好处都会化为乌有。
只需将反射器连接好，调整PID控制器以应对更高的热流，你就会感受到能量传递效率的提升。