别再等待加热器升温了：红外技术与石英材料的神奇作用
说实话，等待空气将工件加热的过程实在浪费时间。在半导体制造厂中，这些额外的“等待时间”会逐渐累积起来，从而拖慢整个生产流程的速度。
因此，我们采用短波红外线灯与高纯度石英防护罩相结合的方式。红外线不会去加热空气，而是直接将能量传递到芯片表面。这是一种全新的加热方式。
为什么红外技术比热风更高效？
想象一下对流式烤箱——你必须先加热空气，然后让空气来加热工件。这个过程很慢，而且为了把一块硅片加热到所需温度，需要消耗大量能源。而红外线则不同，它能够立即作用于目标物体。一旦切换到红外线加热模式，升温时间就会大幅缩短，从几分钟缩短到几秒钟而已。这就像开关电灯一样简单。
石英防护罩的作用
当然，不能让红外线灯直接暴露在外。必须使用石英玻璃防护罩。
为什么选择石英呢？因为它能够承受高温而不熔化，同时还能让红外线顺利透过，不会被阻挡。不过，它的作用还不止于此。石英防护罩还可以防止芯片上的微粒进入灯内。如果没有防护罩，就会出现局部过热的情况，导致灯管过早损坏。此外，防护罩还能减轻热量对芯片的冲击。如果没有合适的防护罩，热量可能会过于强烈，从而损坏硅片。没人希望看到芯片出现裂纹吧。
需要注意的问题
虽然红外线加热速度极快，但它的能量分布也相当集中，只集中在灯照射的位置。如果工件的形状复杂，那么其表面的温度差异也会很大。这时候就需要通过调整灯的功率以及石英防护罩的距离，来确保芯片不会变形。
最后一点：还要注意冷却系统。红外线产生的热量会反射到防护罩上，然后再返回到灯座处。如果冷却系统不够好，就可能导致设备过热。