晶圆固化灯反光罩

在晶圆制造车间，光刻胶烘烤不仅仅是另一个热处理步骤——它代表你的热预算。即使偏离目标半摄氏度，也会导致关键尺寸漂移和产率下降，一批接一批。这个热预算的控制点就在热量分布处：晶圆固化灯中的反射镜。 技术关键点 我们设计的反射镜匹配卤素和短波红外（IR）光源的光谱特性，使能量准确照射在晶圆表面，避免额...