曝光后烘烤 PEB 加热器

在光刻工序中，PEB步骤的作用就是确定晶圆的线条宽度。如果让温度变化0.5°C，那么最终得到的图案质量就会受到影响，而这种问题可能需要数周时间才能解决。我们设计这款曝光后烘烤加热器，就是为了消除这种不确定性。 关键点在于： 该加热器的核心是由石英-卤素短波发射器构成的阵列，配合闭环控制系统使用。在...