Zásuvka pro infračervenou lampu pro nástroj na wafery
V prostorách výroby znáte pravidla: i změna teploty o 1 °C během procesu měkkého zahřívání fotorezistů nebo sušení desek stačí k tomu, aby došlo ke...
Infračervená lampa pro zařízení Applied Materials
Na výrobní lince se tepelný posun neprojeví jako siréna a zastavení. Projeví se jako kritický rozměr, který se mění, okrajová vrstva, která se...