V prostorách výroby znáte pravidla: i změna teploty o 1 °C během procesu měkkého zahřívání fotorezistů nebo sušení desek stačí k tomu, aby došlo ke změnám kritických rozměrů a snížení výtěžnosti. Proto je soket pro infračervenou lampu v zařízeních na zpracování desek navržen tak, aby odstranil potřebu odhadování teplotních hodnot.
Co je důležité v podstatě
Používáme emitory krátkovlnného infračerveného záření spolu s quartzovými sokety vysoké čistoty – díky tomu dochází k rychlému, lokálnímu zahřívání s reakcí v řádu subsekund. Rovnoměrnost teploty na celé ploše desky zůstává v rozmezí ±0,1 °C, přičemž opakovatelnost nastavené teploty je ±0,5 °C mezi jednotlivými cykly. Tento design nevytváří během provozu žádné částice a je kompatibilní s prostředím čistých míst od třídy 1 do třídy 100. Dodávka energie je stabilní, s přesnou tolerancí napětí a konstantní intenzitou záření – díky tomu se stejný teplotní profil opakuje u každého zařízení a v každém cyklu.
Proč to je důležité v litografii a dalších aplikacích
V litografii umožňuje proces měkkého zahřívání efektivní odstranění rozpouštědel a lepší přilnavost fotorezistů; proces tvrdého zahřívání zase fixuje vzor před leptáním. Náš infračervený soket stabilizuje oba tyto procesy, čímž se snižuje nerovnoměrnost šířky linií a eliminují se problémy spojené s okraji desek. Při čištění a sušení desek zkracuje rychlý teplotní nárůst dobu procesu bez nadměrného zahřátí – díky tomu se snižuje spotřeba energie a doba cyklů. Výsledkem je vyšší výtěžnost, méně oprav a spolehlivé výsledky na každé stanici zpracování.
Tipy, které vám ušetří starosti
Instalace spočívá v přesném zarovnání lampy, soketu a reflektoru, aby byla dosažena požadovaná rovnoměrnost teploty. Před zahájením provozu je nutné ověřit tepelné spojení a cesty pro odvod tepla, a také zajistit, že materiál soketu je kompatibilní s chemickým složením rozpouštědel použitých v fotorezistech. Plánujte pravidelnou výměnu lampy, abyste zachovali konstantní intenzitu záření a teplotní profil během dlouhodobého provozu.