In der Produktionsstätte reicht bereits eine Temperaturabweichung von 0,5 °C während des Trocknungsprozesses aus, um ganze Chargen zu verschwenden. Die Wafern bleiben ungenutzt, die Werkzeuge stehen still – und der Terminkalender leidet darunter. Wir haben unseren Heizer für photovoltaische Siliziumwafer entwickelt, um diese Unsicherheiten auszuschließen.
Was wirklich wichtig ist: Der Heizer nutzt kurzwellige Infrarotstrahler sowie eine mit Quarz versehene Wärmekammer, um eine Temperaturgleichmäßigkeit auf dem Wafer von ±0,1 °C zu gewährleisten. Die Temperatur stabilisiert sich innerhalb weniger Sekunden – und die Schleifensteuerung sorgt dafür, dass die Temperatur bei jedem Trocknungsprozess konstant bleibt. Der Heizer ist kompatibel mit Reinräumen der Klassen 1–100, da er eine Partikelfreie Strahlung ermöglicht. Der Heizerkörper sowie die Anschlüsse sind so konzipiert, dass sie wiederholten Reinigungsprozessen standhalten können, ohne dass es zu Gasemissionen kommt. Die Leistungsdichte passt sich dem Substrat an – und die Anschlüsse nutzen standardmäßige mechanische und elektrische Verbindungen, sodass der Heizer problemlos in vorhandene Anlagen integriert werden kann.
Die Genauigkeit der Lithografie hängt von wiederholbaren Trocknungsbedingungen ab. Eine hohe Temperaturgleichmäßigkeit sowie schnelle Temperaturstabilisierung verringern die Schwankungen der Linienbreite, verbessern die Haftung der Schichten und reduzieren die Notwendigkeit von Nacharbeiten. Dadurch erhöht sich die Qualität der ersten Bearbeitungsschritte – und es kommen weniger Probleme durch Messfehler auf. Der Heizer läuft rund um die Uhr mit vorhersehbaren Wartungsintervallen – dadurch wird die Unplannierte Stillstandzeit minimiert. Der Energieverbrauch wird durch die schnelle Reaktionsfähigkeit sowie die geringe thermische Masse reduziert – dadurch sinken die Kosten für Leerlaufenergie und Abkühlungsprozesse.
Für die Installation ist eine stabile, ebene Befestigungsfläche sowie eine effektive Kühlung notwendig, damit die gewünschte Temperatur bei kontinuierlichem Betrieb gehalten werden kann. Der Heizer arbeitet bei der angegebenen Netzspannung – und muss zur Kalibrierung des Steuergeräts passen. Uneinheitliche Verkabelung kann zu kleinen Abweichungen führen. Planen Sie einen kurzen Testbetrieb, um die Funktionalität des Heizers in Ihrer spezifischen Umgebung zu überprüfen.