Infrarotlampeinsatz für Waferwerkzeug
In der Fertigungshalle gilt folgendes Prinzip: Schon eine Schwankung von 1 °C während des Weichbrennvorgangs oder beim Trocknen der Wafer reicht aus,...
Infrarotlampe für Applied Materials Gerät
Auf dem Fertigungsboden zeigt sich thermische Drift nicht durch eine Sirene und einen Stopp. Sie äußert sich durch eine kritische Abweichung einer...