In der Fertigungshalle gilt folgendes Prinzip: Schon eine Schwankung von 1 °C während des Weichbrennvorgangs oder beim Trocknen der Wafer reicht aus, um die kritischen Abmessungen zu beeinträchtigen und somit die Ertragsrate zu senken. Deshalb ist die Infrarotlampe in den Waferbearbeitungsgeräten so konstruiert, dass keine Annahmen bezüglich der thermischen Bedingungen mehr notwendig sind.
Was wirklich wichtig ist
Wir verwenden Kurzwellen-Infrarotemitter in Kombination mit Hochreinheitsquarzsockeln. Dadurch wird eine schnelle, lokalisierte Erwärmung erreicht – mit einer Reaktionszeit von unter einer Sekunde. Die Temperaturgleichmäßigkeit auf der gesamten Oberfläche des Wafers bleibt bei ±0,1 °C, und die Wiederholgenauigkeit des Zielwertes liegt bei ±0,5 °C von Zyklus zu Zyklus. Das Design sorgt außerdem dafür, dass während des Betriebs keine Teilchen entstehen – zudem ist das Gerät für Reinräume von Klasse 1 bis 100 geeignet. Die Leistungsaufbringung ist konstant, mit engen Spannungs toleranzen sowie einer gleichmäßigen Strahlintensität. Dadurch bleibt das gleiche thermische Profil von Gerät zu Gerät sowie von Schicht zu Schicht erhalten.
Warum das in der Lithografie und darüber hinaus wichtig ist
In der Lithografie sorgt der Weichbrennvorgang für die Entfernung von Lösungsmitteln sowie für eine bessere Haftung des Fotolacks. Der Hartbrennvorgang wiederum fixiert das Muster vor dem Ätzenprozess. Unsere Infrarotlampe stabilisiert beide Prozesse, wodurch Unregelmäßigkeiten in der Linienbreite vermieden werden. Bei der Reinigung und Trocknung der Wafer verkürzt die schnelle Erwärmung den Prozess – ohne dass es zu Überschreitungen kommt. Dadurch kann der Energieverbrauch sowie die Zeit zwischen den Prozessen reduziert werden. Das Ergebnis: höhere Durchsatzraten, weniger Nacharbeiten sowie zuverlässige Ergebnisse an jeder Bearbeitungsstation.
Tipps, die Ihnen Probleme ersparen
Bei der Installation ist eine präzise Ausrichtung der Lampe, des Sockels und des Reflektors wichtig, damit die gewünschte Temperaturgleichmäßigkeit erreicht wird. Vor der Inbetriebnahme sollten die thermischen Verbindungen sowie die Kühlwege überprüft werden. Zudem muss sichergestellt werden, dass das Material des Sockels mit den Lösungsmitteln im Fotolack vereinbar ist. Planen Sie außerdem regelmäßige Austausche der Lampen, damit die Strahlintensität konstant bleibt und das thermische Profil auch über längere Zeiträume hinweg eingehalten werden kann.