دیگر اجازه ندهید انرژی هدر برود: چرا استفاده از منعکسکنندههای پوشیده شده با طلا واقعاً مهم است؟
اگر در فرآیند فرآوری ویفرهای نیمههادی کار میکنید، هر وات انرژی اهمیت زیادی دارد. هیچ چیز آزاردهندهتر از این نیست که انرژی گرانقیمت، به دلیل عدم توانایی منعکسکنندهها در جذب انرژی، هدر برود.
اکثر کارخانهها از آلومینیوم استاندارد برای ساخت منعکسکنندهها استفاده میکنند؛ اما مشکل اینجاست که آلومینیوم برای کار با امواج مادون قرمز طولانی کافی نیست؛ چرا که اجازه میدهد انرژی زیادی از بین برود.
در همین جاست که طلا وارد صحنه میشود. با استفاده از لایههای طلا، میتوانیم انرژی را مستقیماً به سمت ویفر هدایت کنیم.
تفاوت واقعی بین طلا و آلومینیوم
آلومینیوم خوب است، اما طلا در محدوده امواج مادون قرمز، عملکرد فوقالعادهای دارد. وقتی که لایه طلا روی سطح منعکسکننده قرار میگیرد، منعکسکننده دیگر انرژی را جذب نمیکند؛ بلکه انرژی به سمت ویفر بازمیگردد. در نتیجه، تمرکز انرژی بهتر میشود و گرما به طور یکنواخت در سطح ویفر پخش میشود.
رسیدن به دقت لازم
همه ما با مشکل «نقاط سرد» مواجه شدهایم؛ این مشکل واقعاً آزاردهنده است. وقتی که سیستم گرمایشی را تنظیم میکنیم، شکل منعکسکننده بسیار مهم است. ما از منعکسکنندههای پارابولیک یا بیضوی پوشیده شده با طلا استفاده میکنیم تا امواج مادون قرمز در مسیر صحیح قرار بگیرند. این کار باعث میشود که گرما در لبههای ویفر پخش نشود. اگر با مشکلات ناشی از پخش نامناسب گرما مواجه شدهاید، احتمالاً دلیل آن همین است.
معایب و نحوه مقابله با آنها
طلا از نظر شیمیایی پایدار است، اما جادو نیست! طلا در برابر اکسیداسیون مقاومت بیشتری دارد، اما از کثیفی متنفر است. کمی گرد و غبار یا اثر انگشتات میتواند باعث کاهش عملکرد منعکسکننده شود. اگر سطح منعکسکننده کثیف باشد، جریان انرژی از بین خواهد رفت. بنابراین باید به طور منظم سطح منعکسکننده را تمیز کنید.
نکته دیگر: از آنجایی که انرژی به ویفر با فشار بسیار بالاتری ارسال میشود، پلتهای خنککننده نیز باید قابلیت لازم را داشته باشند. مطمئن شوید که آنها به درستی تنظیم شدهاند تا لبههای ویفر آسیب نبیند.