Empêchez vos outils de semi-conducteurs de surchauffer
Le problème avec les lampes infrarouges standard, c’est qu’elles émettent de la chaleur dans toutes les directions. Dans une chambre de fabrication de semi-conducteurs exiguë, cela peut entraîner des dégâts graves. Toute cette radiation se réfléchit contre les parois intérieures, créant des points chauds qui peuvent endommager le châssis de l’appareil, ou pire encore, blesser l’opérateur.
Nous avons trouvé une solution : nous utilisons des lampes directionnelles revêtues d’or.
Pourquoi l’or ?
Cela peut sembler compliqué, mais en réalité c’est très simple. Nous appliquons une fine couche d’or sur la moitié arrière de l’enveloppe en quartz. L’or agit comme un miroir pour la lumière infrarouge. Au lieu de laisser la chaleur se disperser dans l’appareil, cette couche la renvoie directement vers la puce à traiter. Ainsi, la lampe devient un outil de précision. Vous obtenez ainsi une chaleur beaucoup plus intense sur la zone cible, sans que l’intérieur de l’appareil ne devienne un four.
Les compromis à prendre en compte
Il y a tout de même un inconvénient : en concentrant toute cette énergie, la densité de chaleur sur la pièce à traiter augmente. Il est donc important d’être très prudent avec les régulateurs PID. Si vous n’êtes pas précis, vous risquez de dépasser la température souhaitée. Pour faire face aux contraintes liées au chauffage et au refroidissement rapides, nous utilisons du quartz de haute pureté. Nous personnalisons également les extrémités des lampes afin qu’elles restent en place, même en cas de vibrations de l’appareil.
Comment l’intégrer dans votre système
Le mieux, c’est que vous n’avez plus besoin de ces boucliers thermiques volumineux ni de ventilateurs de refroidissement puissants. Cela simplifie beaucoup l’aménagement intérieur de l’appareil.
Un conseil : lorsque vous les connectez, assurez-vous que la face en or soit tournée loin de tout élément en plastique ou de câbles.
Et si vous remplacez ces lampes dans un système existant, vérifiez bien l’alimentation électrique. Comme la zone cible reçoit maintenant plus de chaleur, il peut être nécessaire de ralentir les temps de chauffage. Vous ne voulez certainement pas endommager votre substrat à cause de la précipitation.