Chauffeur de wafer en silicium photovoltaïque
Sur le site de fabrication, une déviation de 0,5 °C pendant le processus de cuisson du photorésiste suffit pour faire échouer toute une série de...
Minuteur pour four de séchage des plaquettes
Hors du bain de nettoyage, une plaquette sort avec une fine couche d’eau DI. Le four de séchage doit éliminer cette humidité sans cuire la...
Chauffe wafer pour électroniques flexibles
Sur la ligne, un processus d’électronique flexible déraille au moment où la cuisson du photo-résist dérive. Sur la tranche de 300 mm, quelques...