בחדר הליתוגרפיה, שלב PEB הוא השלב בו קובעים את רוחב הקווים שייוצרו. אם משנים את הטמפרטורה ב-0.5°C, נוצרת סטייה שתצטרך לתקן במשך שבועות. ייצרנו את התנור הזה כדי להעלים את השינויים האלו.
מה חשוב באמת? הליבה של התנור היא מערך של גופי פליטה מסוג קוורץ-הלוגן, בשילוב עם בקרה במעגל סגור. על גבי וופר בגודל 300 ממ, האחידות התרמית נשמרת בטווח של ±0.1°C. החזרתיות בין סדרות שונות נשמרת בטווח של ±0.2°C, כך שפרופיל הפעילות של הפוטורזיסט לא משתנה. חומרי התנור מתאימים לחדרי ניקיון מדרגה 1–100, וגאומטריית התנור מונעת טורבולנציה, כך שאין יצירת חלקיקים במהלך החימום. ניתן לקבל ערכי טמפרטורה יציבים בטווח של 90°C עד 150°C, עם קצב עלייה של עד 10°C/שנייה. התנור מונע יצירת אזורים חמים באזורי העבודה.
הבעיה היא שטעויות בטמפרטורה של PEB גורמות לטעויות ברוחב הקווים ולירידה באיכות המוצר. עם תנור זה, פרופילי החימום פועלים כפי שנקבע, ולא כפי שהמכשיר מחליט בעצמו. התוצאה היא פחות וופרים שאינם עומדים בסטנדרטים, חלוקה אחידה יותר של החומרים בשכבות החשובות, ותהליכי בדיקה שמתבצעים במהירות רבה יותר.
בנוסף, חוסכים אנרגיה, מכיוון שמקור החום הוא מסוג גלים קצרים, והוא מחמם את האזור הרצוי בלבד, ולא את הסביבה. המסה התרמית הנמוכה מקצרת את זמן המעבר ממצב של חוסר פעילות למצב של חימום. התנור יכול לפעול 24/7, עם אפשרות לתחזוקה מתוכננת.
מה צריך כדי להפעיל אותו? התנור עובד עם חיבורים סטנדרטיים של FOUP ו-SEMI, אך הוא דורש חיבור של 24V ייעודי ואוויר נקי ויבש כדי שהניקוי יהיה יעיל. בעת ההתקנה, יש להקדיש 30 דקות ליישור ובדיקת השינויים התרמיים. לאחר מכן, יש לבצע בדיקות יומיות לאחידות הטמפרטורה באמצעות וופר מקושר.
אם אתם נמצאים בסביבה בעלת לחות גבוהה, יש לוודא שקצב הניקוי מספיק. אחרת, הטל בלחות עלול לפגוע באותות האינפרא-אדום ולגרום לסטיות קטנות אך חוזרות על עצמן.