המנורה האינפרא אדומה הטובה ביותר לשימוש עם חומרי פוטורזיסט.

בחדרי הליתוגרפיה, תהליך החימום של הפוטורזיסט אינו רק דרך לחימום המערכת – זהו חלק בלתי נפרד מתהליך העיבוד. אם טמפרטורת החימום תעלה או תירד במעט,...