グローブボックス内での炭素排出削減：より効果的な加熱方法 半導体研究所において、グローブボックスの温度を適切に維持するのは、通常、非常に大変な作業です。長年にわたり、私たちは古い抵抗式ヒーターを使用してきましたが、これでは小さなサンプルを温めるために部屋全体を温める必要があります。これは非効率的で...

はじめに 率直に言って、私たちが開発したIP65等級の赤外線ヒーターは、バスルームにとって本当に必要な、頑丈で手間のかからない加熱源です。これは単なるヒーターではありません。迅速に暖を与えてくれるだけでなく、カビの原因となる湿気にも対処する技術が搭載されています。 その結果、メンテナンスの手間が減...

ファブ内では、フォトレジストの焼成やウェーハの乾燥工程における熱変動は、単なる理論上の問題ではありません。実際には、それが不具合や歩留まりの低下として現れます。オーブンやホットプレートが規定の温度を保てないと、線幅の制御が乱れ、接着力が低下し、粒子の数も増えてしまいます。私たちは、半導体製造におい...