와트를 낭비하지 마세요: 금 코팅 반사판이 왜 중요한가
반도체 웨이퍼 가공을 하고 있다면, 1와트라도 소중합니다. 반사판의 성능이 부족해져서 비싼 에너지가 그냥 낭비된다는 것은 정말 짜증나는 일입니다.
대부분의 공장들은 표준적인 알루미늄을 사용합니다. 하지만 문제는, 장파장 자외선을 다룰 때 알루미늄은 충분하지 않다는 점입니다. 너무 많은 에너지가 그냥 빠져나갑니다.
이때 바로 금이 필요합니다.
일반적인 표면 대신 고순도 금 코팅을 사용하면, 에너지가 웨이퍼에 직접 전달됩니다.
금과 알루미늄의 진짜 차이점
알루미늄도 괜찮지만, 금은 적외선 영역에서 훨씬 뛰어난 성능을 보입니다.
정밀하게 금 코팅을 하면, 반사판이 열을 흡수하는 것을 막습니다. 그래서 금속 케이스가 뜨거워지는 것을 방지할 수 있으며, 에너지가 목표물에 직접 전달됩니다.
결과적으로, 더 정확한 초점과 균일한 열 분포가 가능해집니다. 더 이상 추측할 필요가 없습니다.
정밀도를 맞추는 방법
우리 모두 “저온 구역”이라는 문제를 겪어봤을 것입니다. 이는 정말 골칫거리입니다.
가열 시스템을 설정할 때는 반사판의 형태가 매우 중요합니다. 우리는 적외선을 정확하게 조절하기 위해 금 코팅된 포물선형 또는 타원형 반사판을 사용합니다.
이렇게 하면 가장자리에서의 온도 저하를 막을 수 있습니다. 만약 균일하지 않은 가열 문제가 있다면, 이것이 원인일 가능성이 높습니다.
단점과 해결 방법
금은 화학적으로 안정적이지만, 마법은 아닙니다.
알루미늄보다는 산화에 강하지만, 먼지나 지문에는 약합니다. 조금만 먼지나 지문이 있어도 반사율이 떨어집니다. 표면이 더러우면 에너지가 제대로 전달되지 않습니다.
따라서 정기적으로 청소를 해주어야 합니다.
또 한 가지 주의해야 할 점은, 웨이퍼에 훨씬 더 집중된 에너지가 가해지므로, 냉각판도 적절히 설계되어야 한다는 것입니다. 그렇지 않으면 웨이퍼의 가장자리가 손상될 수 있습니다.