혼란 없이 웨이퍼를 깨끗하게 유지하는 방법 만약 클래스 100 등급의 클린룸을 운영하고 있다면, 미세한 먼지 입자들로 인해 발생하는 문제들을 잘 알고 있으실 것입니다. 저가형 가열 소자에서 나오는 아주 작은 조각들이나 저품질 램프에서 나오는 가스들만으로도 웨이퍼가 망...

왜 MEMS 웨이퍼를 건조할 때는 적외선 가열이 열공기를 이용한 건조 방식보다 더 효과적인가? 만약 여전히 MEMS 센서 웨이퍼를 건조할 때 열공기를 사용하고 있다면, 그건 시간 낭비일 뿐입니다. 이는 분명한 병목 현상입니다. 열공기 건조 방식은 대류에 의존합니다....

팹에서는 리소그래피 공정 이후에 단 하나의 물방울만으로도 많은 문제가 발생할 수 있습니다. 기존의 건조 방식에서는 온도가 변동하고, 입자들이 뜨거운 표면에서 직접 필름 속으로 들어갑니다. 우리는 그러한 변동성을 없애기 위해 탈이온수를 사용하는 건조 장치를 만들었습니다...

세정 욕조에서 웨이퍼는 DI수막을 갖고 나옵니다. 건조 오븐은 포토레지스트를 손상시키거나 입자를 발생시키지 않고 그 수분을 제거해야 합니다. 타이머가 흐트러지면 체류 시간이 변동되어 결국 라인상의 수율 손실로 나타납니다. 그래서 프로세스를 정확하게 유지하는 웨이퍼 건...