노출 후 베이킹(PEB) 히터

리소그래피 공정에서 PEB 단계는 웨이퍼의 선폭을 확정하는 중요한 과정입니다. 웨이퍼의 온도를 0.5°C만 변경해도, 수주 동안 해결해야 할 문제가 생길 수 있습니다. 우리는 이러한 변수들을 제거하기 위해 이 포스트 에кспо저 베이크 히터를 개발했습니다. 핵심은 무...