반도체용 석영 할로겐 가열 전구

제조 현장에서는, 소프트 베이크 과정에서 단 0.5도만의 오차가 생겨도 포토레지스트의 프로파일이 나노미터 단위로 변동할 수 있습니다. 그러면 치명적인 크기 제어 문제가 발생하게 됩니다. 웨이퍼들은 대기 상태에 놓이고, 장비들은 아무런 작업도 할 수 없게 되며, 예상했...