탈이온수 건조 램프

팹에서는 리소그래피 공정 이후에 단 하나의 물방울만으로도 많은 문제가 발생할 수 있습니다. 기존의 건조 방식에서는 온도가 변동하고, 입자들이 뜨거운 표면에서 직접 필름 속으로 들어갑니다. 우리는 그러한 변동성을 없애기 위해 탈이온수를 사용하는 건조 장치를 만들었습니다...