포토레지스트에 가장 적합한 적외선 램프

포토레지스트 가열 과정에서의 열처리는 단순한 예열이 아닙니다. 이는 매우 중요한 공정 단계입니다. 소프트 베이크나 하드 베이크의 온도가 1~2도만 벗어나도 치명적인 결과가 발생할 수 있습니다. 게다가 입자 생성까지 더해진다면 전체 공정이 실패로 돌아갈 수 있습니다....